Atomi se sastoje od pozitivno nabijenog jezgre okružen oblakom negativno nabijenih elektrona . Ponekad atomi može dobiti ili izgubiti elektrona , što dovodi do toga da stjecanje neto pozitivan ili negativan naboj . Atom sa naboj poznat kao ion . Plazma jeoblak iona , a to može imati brojne koristi u prerađivačkoj industriji poluvodički . Plazma može biti proizvedena unutar Argon – ispunjen vakuum komori pomoću napajanje koje generira radijske frekvencije (RF) radiation.Things morat ćete Srpski RF vakuum komoru s Argon kontrole toka mase
Rotary
pumpe
Turbo pumpa RF napajanja
RF podudaranja mreže
2 RF kabela