Utjecaj urezivanja na metalnoj mikrostruktura

proces primjene tankih metalnih filmova jevažan dio poluvodičkih i magnetizma industrije . Dvije glavne vrste obrade uključuju rast metalnih filmova i bakropis od metalnih filmova . Rast uključuje taloženje metalnog materijala pomoću postupka , kao što je isparavanje ili prskanja . Bakropis jeobrnut proces i uključuje uklanjanje selektivno materijal izlaganjem određene kemikalije ili bombardiranjem materijala s ioniziranih molekula plina . Bakropis

jetkanje jeselektivno uklanjanje materijala . Postoje dva glavna načina da se rezati materijal . Kemijski rezati se često koristi za selektivno uklanjanje određenog materijala , a druga izlazna područja uzorka netaknut . Primjer je uporaba fluorovodičnom kiselinom da selektivno uklanjanje silicij dioksid . Drugi način da se rezati je da stavite uzorak u vakuum komori onda uvesti plin , kao što su argon . Argon tada se ionizira skupom elektroda i protiv ubrzanog uzorka . Ioni bombardirati uzorak i uklanjanje materijala . Budući da su svi dijelovi uzorka bombardiran , nijeselektivno rezati , a sve površine izložene će imati materijal uklonjen .
Smanjenje Metal Debljina

Razotkrivanje metalne uzorak na rezati će se smanjiti debljinu uzorka je . To je često željeni ishod rezati . Da bi se uklonili određenu količinu materijala ,metala mora biti izložen rezati na određeno vrijeme , na primjer , od jedne minute . Debljina onda treba izmjeriti kako bi se dobila stopa rezati , poput 10 nanometara u sekundi .
Film Grubost

Iakoje cilj s rezati je da se smanji debljina metala , to obično ima svoju cijenu . Metalik film hrapavost može bitivrlo važna količina i obično se mjeri s uređajem zoveatomskih sila mikroskopom . Općenito ,višematerijal urezan,većumetalno Film hrapavost postaje .

GRANULOMETRIJSKI

Metalik film sastoji od mnogo milijuna sitnih zrnaca koje su obično u veličine od 5 do 100 nm . Kao što su metalni filmovi urezan,prosječna veličina zrna veličine može se smanjiti , ali to je jako ovisi o vrsti rezati , vrijeme rezati i rezati moć ako jeion rezati .

Odgovori